氣敏測試真空腔體微型探針臺臺
氣敏測試真空腔體微型探針臺臺
高低溫探針臺系統達到≤10Pa即可進行低溫測試而無凝露或結霜。對于選用了入門級配置的用戶,可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標真空度,從而減少設備的配置預算。對于真空度有更高要求的用戶,可選用分子泵組對系統進行抽真空。低溫探針臺系統可達10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組,以滿足測試要求。
為了減少泵組的振動,我們還專門為用戶設計了隔振器,地衰減泵組工作時產生的振動,以確保系統的穩定,減少探針的漂移。
度
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氣敏測試真空腔體微型探針臺臺
真空腔體
類型
高溫型室溫到350℃
高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃
腔體材質
304不銹鋼 6061鋁合金 可選
腔體內尺寸
127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸
150mmX80mmX32mm
腔體重量
不銹鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質 約0.5KG
腔體上視窗尺寸
Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)
腔體抽氣口
KF16法蘭(其余接口規格可轉接)
腔體真空測量口
KF16法蘭(其余接口規格可轉接)
腔體進氣口
6mm快擰 或 6mm快插
腔體冷卻方式
腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓
≤0.05MPa
腔體真空度
機械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘)
樣品臺
樣品臺材質
不銹鋼 銀銅合金 純銀塊
銀銅合金 純銀塊
樣品臺尺寸
26x26mm
樣品臺加熱方式
電阻加熱
電阻加熱 液氮制冷
樣品臺-視窗 距離
11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm)
樣品臺測溫傳感器
PT100型熱電阻
樣品臺溫度
室溫到400℃
室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺測溫誤差
±0.5℃
樣品臺升溫速率
高溫100℃/min 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示
7寸人機界面
溫控類型
標準PID溫控 +自整定
溫度分辨率
0.1℃
溫控精度
±0.5℃
溫度信號輸入類型
PT100 (可選K S B型熱電偶)
溫控輸出
直流線性電源加熱
直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能
溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口
溫控器尺寸
32cmX170cmX380cm
溫控器重量
約5.6KG
探針
電信號接頭
配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
電學性能
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數量
4探針(可擴展5探針)
探針材質
鍍金鎢針 (其他材質可選)
探針尖
10μm
手動探針移動平臺
X軸移動行程
20mm ±10mm(需手動推動滑臺)
X軸控制精度
≥500μm
R軸移動行程
120° ±60°(需手動旋轉探針桿)
R軸控制精度
≥500μm
Z軸移動行程
2mm ±1mm
Z軸控制精度
≤50μm(需手動螺紋調節探針桿)